안녕하십니까...
경기도 화성시 진안동 KTS-ENG에서 근무하는 김종필입니다..
처음 인터넷상에서 작품을 처음 올려봅니다..
반도체 장비설계쪽으로 처음 입문한지 3개월만에 처음 만든 작품입니다.
저가 직접 S사에서 가져나왔어 실척하여 만든 작품입니다..
한번 올려보고 싶어서 올려봄니다
본발명은플라즈마식각장치에서챔버내부의가스들을균일하고대칭적으로배출시키기위한배기장치에관한것으로서, 바닥에배기홀을가지는챔버와, 챔버하부에설치되는배기탱크와, 챔버와배기탱크사이에설치되는진자밸브실린더와, 진자밸브실린더내부에서왕복운동하는진자밸브를포함하는배기시스템을제공합니다.
설계툴은 : 인벤트8
작업시간은:3D 작업은 총3일..2D 도면화 작업은5일 정도 총작업시간은 8일정도 소요
본위의 첫번째 작품과 두번째 작품은 아직 진행중인 작품입니다
미완성 작품이라 나중에 다시 한번 수정해서 올리겠습니다.
발명은 가스의 흐름은 원할히 수행하며 파우더만을 트랩핑(Trapping)함으로 효과적인 펌프 및 스크러버, 그리고 배관관리를 유도할 수 있는 스크류타입 파우더트랩장치에 관한 것이다.
이를 위한 본 발명은, 해당 배관을 통해 메인챔버와 펌프가 가스인입부(11)와 가스배출부(12)가 각기 설치되고, 쿨링용 PCW가 PCW인입부(13)에 인입되어 내부의 스크류(15)를 통해 PCW배출부(13)로 배출되는 파우더트랩(10)을 설치하도록 구비하여, 상기 파우더트랩(10)은 내부 중앙의 원통을 둘러쌓은 스크류(15)가 길게 배열되어 유체의 흐름을 유도하면서 적당한 갭으로 파티션역할을 하는 벽을 만들어 주고, 모든 영역에 쿨링용 PCW가 흐르게 하여 프로세스 진행후 발생하는 파우더를 트랩한 것을 그 특징으로 한다.
이를 위한 본 발명은, 해당 배관을 통해 메인챔버와 펌프가 가스인입부(11)와 가스배출부(12)가 각기 설치되고, 쿨링용 PCW가 PCW인입부(13)에 인입되어 내부의 스크류(15)를 통해 PCW배출부(13)로 배출되는 파우더트랩(10)을 설치하도록 구비하여, 상기 파우더트랩(10)은 내부 중앙의 원통을 둘러쌓은 스크류(15)가 길게 배열되어 유체의 흐름을 유도하면서 적당한 갭으로 파티션역할을 하는 벽을 만들어 주고, 모든 영역에 쿨링용 PCW가 흐르게 하여 프로세스 진행후 발생하는 파우더를 트랩한 것을 그 특징으로 한다.
[출처] pendulum valve control system (메카피아닷컴) |작성자 종필